技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種潔凈室過濾裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體制造和科學(xué)研究通常在潔凈的環(huán)境中，潔凈室為過濾和去除污染物的環(huán)境。隨著半導(dǎo)體特征圖形尺寸越來越小，微污染防治變得越來越重要，特別是氣態(tài)分子污染物 (Airborne molecular contamination，AMC)。OHT(Overhead Hoist Transfer)是半導(dǎo)體工廠使用的自動化搬運系統(tǒng)，天車運行于頂棚下方的行駛軌道，將裝有晶圓的設(shè)備運送至各個生產(chǎn)區(qū)域，這就使得原來密封的各個區(qū)域間形成了一個通道。當(dāng)潔凈室相鄰兩個區(qū)域間壓力過小，裝有晶圓的設(shè)備運行形成的橫向氣流會將高濃度的氣態(tài)分子污染物(Airborne molecular contamination，AMC)帶至相鄰區(qū)域，給相鄰區(qū)域的微污染防治帶來困難。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本發(fā)明提出一種潔凈室過濾裝置，可以有效避免因裝載設(shè)備例如天車運行，造成的相鄰潔凈室區(qū)域被污染的情況。

為實現(xiàn)上述目的及其他目的，本發(fā)明是采用如下技術(shù)方案來實現(xiàn)的，本發(fā)明提供一種潔凈室過濾裝置，包括：

軌道設(shè)備，設(shè)于多個潔凈室之間，用于將裝載設(shè)備移動至所述潔凈室內(nèi)；

緩沖區(qū)域，位于所述潔凈室之間的連接處，所述緩沖區(qū)域與所述軌道設(shè)備卡合連接；

空氣輸送設(shè)備，與所述緩沖區(qū)域連接，所述空氣輸送設(shè)備用于輸送空氣；

空氣過濾設(shè)備，位于所述緩沖區(qū)域的頂端，且將所述空氣輸送設(shè)備與所述緩沖區(qū)域連通；

壓力控制設(shè)備，位于所述緩沖區(qū)域內(nèi)，所述壓力控制設(shè)備與所述空氣輸送設(shè)備連接；

其中，所述壓力控制設(shè)備控制所述緩沖區(qū)域內(nèi)的壓力高于所述緩沖區(qū)域兩側(cè)的所述潔凈室的壓力。

在一實施例中，所述緩沖區(qū)域內(nèi)的壓力高出所述緩沖區(qū)域兩側(cè)所述潔凈室的最大壓力至少5-10帕。

在一實施例中，所述緩沖區(qū)域的兩側(cè)分別設(shè)有兩個自動雙開門，所述自動雙開門具有卡口，所述卡口與所述軌道設(shè)備卡合連接。

在一實施例中，所述自動雙開門包括第一開門和第二開門，所述第一開門具有第一凹口，所述第二開門具有第二凹口，所述第一凹口與所述第二凹口圍成一長方體形狀的所述卡口。

在一實施例中，所述空氣輸送設(shè)備包括：

新風(fēng)送入設(shè)備，用于提供空氣；

電磁閥，設(shè)置在所述新風(fēng)送入設(shè)備的管路上，所述電磁閥與所述壓力控制設(shè)備連接；

封閉罩，包圍所述空氣過濾設(shè)備，所述封閉罩與所述新風(fēng)送入設(shè)備連通。

在一實施例中，所述新風(fēng)送入設(shè)備為空調(diào)，所述空調(diào)與所述封閉罩連接。

在一實施例中，所述緩沖區(qū)域的頂端豎向延伸至所述潔凈室的頂端。

在一實施例中，所述壓力控制設(shè)備為壓力傳感器。所述壓力傳感器與所述空氣過濾設(shè)備連接，所述壓力傳感器位于所述空氣過濾器的底端。

在一實施例中，所述空氣過濾設(shè)備為空氣過濾器。

在一實施例中，所述緩沖區(qū)域的底部設(shè)有一擋板。

在一實施例中，所述緩沖區(qū)域的頂端為所述潔凈室的頂端。

在一實施例中，所述潔凈室的頂端為頂棚或者天花板。

在一實施例中，所述潔凈室的頂端和側(cè)面還設(shè)置有濾網(wǎng)。

在本發(fā)明中，提供一種潔凈室過濾裝置，通過控制所述緩沖區(qū)域內(nèi)的壓力，使得所述緩沖區(qū)域內(nèi)的壓力高于所述緩沖區(qū)域兩側(cè)的所述潔凈室的壓力，當(dāng)一側(cè)所述自動雙開門開啟時，潔凈的空氣向與所述裝載設(shè)備運行方向相反的潔凈室吹掃，從而，可以有效避免因所述裝載設(shè)備例如天車運行，造成相鄰兩個潔凈室相互污染的情況。本發(fā)明例如使用封閉罩，可以有效集中空氣，輸送較少的空氣量即可維持一定壓力，從而節(jié)約能源。本發(fā)明使用具有卡口的自動雙開門的設(shè)置，使得在未有所述裝載設(shè)備通過時，所述緩沖區(qū)域處于密閉狀態(tài)。本發(fā)明的所述空氣過濾單元不占用所述潔凈室的空間，不影響所述裝載設(shè)備例如天車的運行，且成本較低。本發(fā)明還具有原理易懂，成本低，構(gòu)思巧妙和結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點。

附圖說明

圖1：本發(fā)明一實施例中所述潔凈室過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2：本發(fā)明一實施例中所述自動雙開門關(guān)閉時的示意圖；

圖3：本發(fā)明一實施例中所述自動雙開門打開時的示意圖。

符號說明

101、軌道設(shè)備；102、緩沖區(qū)域；103、空氣輸送設(shè)備；1031、新風(fēng)送入設(shè)備；1032、電磁閥；1033、封閉罩；104、空氣過濾設(shè)備；105、壓力控制設(shè)備；106、自動雙開門；1061、第一開門；1062、第二開門；107、卡口；1071、第一凹口；1072、第二凹口；A、第一潔凈室；B、第二潔凈室；C、擋板。

具體實施方式

以下通過特定的具體實例說明本發(fā)明的實施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點與功效。本發(fā)明還可以通過另外不同的具體實施方式加以實施或應(yīng)用，本說明書中的各項細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點與應(yīng)用，在沒有背離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。

需要說明的是，本實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本發(fā)明的基本構(gòu)想，遂圖式中僅顯示與本發(fā)明中有關(guān)的組件而非按照實際實施時的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實際實施時各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。

在本發(fā)明中，需要說明的是，如出現(xiàn)術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等，其所指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本申請和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本申請的限制。此外，如出現(xiàn)術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述和區(qū)分目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

在本發(fā)明中，提供一種潔凈室過濾裝置，通過控制所述緩沖區(qū)域內(nèi)的壓力，使得所述緩沖區(qū)域內(nèi)的壓力高于所述緩沖區(qū)域兩側(cè)的所述潔凈室的壓力，當(dāng)一側(cè)所述自動雙開門開啟時，潔凈的空氣向與所述裝載設(shè)備運行方向相反的潔凈室的方向吹掃，從而，可以有效避免因裝載設(shè)備例如天車，運行造成的相鄰潔凈室區(qū)域被污染的情況。

請參閱圖1至圖3所示，在一實施例中，所述潔凈室過濾裝置包括但不限于，軌道設(shè)備101，緩沖區(qū)域102，空氣輸送設(shè)備103，空氣過濾設(shè)備104和壓力控制設(shè)備105。所述潔凈室過濾裝置的應(yīng)用場景例如為用于避免天車運行，造成相鄰潔凈室被污染的情況。

請參閱圖1至圖3所示，在一實施例中，所述軌道設(shè)備101設(shè)于多個所述潔凈室之間，用于將裝載設(shè)備移動至任意所述潔凈室內(nèi)，所述裝載設(shè)備例如為天車，所述天車內(nèi)裝載有晶圓。以第一潔凈室A和第二潔凈室B為例，所述第一潔凈室A和所述第二潔凈室B為處于相鄰位置的潔凈室，所述軌道設(shè)備101貫穿于所述第一潔凈室A和所述第二潔凈室B。所述第一潔凈室A和所述第二潔凈室B的頂端為天花板或者頂棚。所述潔凈室A和/或所述第二潔凈室B的頂端和側(cè)面例如還設(shè)置有濾網(wǎng)，來吸附一些化學(xué)物質(zhì)，這是為了使?jié)崈羰业?a href="http://hypertoken.cn/news-2/" target="_blank">潔凈度等級更高。

請參閱圖1至圖3所示，在一實施例中，所述緩沖區(qū)域102位于任意相鄰所述潔凈室的連接處，所述緩沖區(qū)域102的頂端例如為所述潔凈室的頂端，所述緩沖區(qū)域102與所述軌道設(shè)備101卡合連接。具體的，所述緩沖區(qū)域102例如位于所述第一潔凈室A和所述第二潔凈室B的連接處，所述緩沖區(qū)域102的頂端例如為所述潔凈室的頂端，具體的，例如為所述第一潔凈室A的頂端和所述第二潔凈室B的頂端交接處的區(qū)域。所述緩沖區(qū)域102用于供所述裝載設(shè)備通過，進(jìn)入下一個所述潔凈室。本實施例中，在所述裝載設(shè)備未經(jīng)過所述緩沖區(qū)域102時，所述緩沖區(qū)域102是處于密閉狀態(tài)的，不會有含有雜質(zhì)的氣體進(jìn)入所述緩沖區(qū)域102。

所述緩沖區(qū)域102的底部開口，在所述緩沖區(qū)域102的底部開口處設(shè)有一擋板C。所述擋板C被所述第一潔凈室A和所述第二潔凈室B的連接處所支撐，所述擋板C的材質(zhì)例如為，木質(zhì)擋板，塑料擋板，金屬擋板，或者為其它材質(zhì)的擋板。

請參閱圖1至圖3所示，在一實施例中，所述緩沖區(qū)域102的兩側(cè)分別設(shè)有兩個自動雙開門106，所述自動雙開門106具有卡口107，所述卡口107與所述軌道設(shè)備101卡合連接。具體的，所述自動雙開門106例如包括第一開門1061和第二開門1062，所述第一開門1061具有第一凹口1071，所述第二開門1062具有第二凹口1072，所述第一凹口1071與所述第二凹口1072可組合圍成一長方體形狀或其他形狀的所述卡口107，所述卡口107能與所述軌道設(shè)備101卡合，使得在沒有所述裝載設(shè)備經(jīng)過時，所述緩沖區(qū)域102能保持完整密閉狀態(tài)。以所述裝載設(shè)備先經(jīng)過所述第一潔凈室A，再經(jīng)過所述第二潔凈室B為例，所述裝載設(shè)備每經(jīng)過一個交接處時，都會設(shè)置所述自動雙開門106。例如，在所述第一潔凈室A的一側(cè)設(shè)置有所述自動雙開門106，所述第一潔凈室A和所述第二潔凈室B的連接處也設(shè)置有所述自動雙開門106，所述第二潔凈室B的出口一側(cè)也設(shè)置有所述自動雙開門106。當(dāng)所述自動雙開門106關(guān)閉時，所述自動雙開門106與所述軌道設(shè)備101恰好密封，當(dāng)所述軌道設(shè)備101例如天車，運行至所述自動雙開門106前例如1～1.5米時，所述自動雙開門106自動打開，待例如天車完全進(jìn)入所述緩沖區(qū)域102后，所述自動雙開門106關(guān)閉，另一側(cè)的所述自動雙開門106同步打開。

請參閱圖1至圖3所示，在一實施例中，所述空氣輸送設(shè)備103與所述緩沖區(qū)域102連接，所述空氣輸送設(shè)備103用于輸送空氣。所述空氣輸送設(shè)備103包括但不限于，新風(fēng)送入設(shè)備1031、電磁閥1032和封閉罩1033。具體的，所述新風(fēng)送人設(shè)備1031用于提供空氣，例如是潔凈的空氣。所述新風(fēng)送入設(shè)備1031例如為空調(diào)，所述空調(diào)1031和所述封閉罩1033連接。所述空調(diào)將空氣處理后，通過氣體管路將處理后的潔凈的空氣送入所述封閉罩1033內(nèi)。所述封閉罩1033包圍所述空氣過濾設(shè)備104，所述新風(fēng)送入設(shè)備1031的進(jìn)氣口與所述封閉罩1033連通。所述空氣輸送設(shè)備103例如設(shè)置在所述潔凈室的外部。所述封閉罩1033的作用是壓縮空氣，便于所述新風(fēng)送入設(shè)備1031將所述潔凈的空氣，送入所述空氣過濾設(shè)備104中。所述封閉罩1033例如為長方體罩，正方體罩，圓柱體罩或者半橢圓形罩，也或者為其它適用于本發(fā)明的形狀。

請參閱圖1至圖3所示，在一實施例中，所述新風(fēng)送入設(shè)備1031的管路上例如設(shè)置有電磁閥1032，所述壓力控制設(shè)備105與所述電磁閥1032連接。所述壓力控制設(shè)備105通過控制所述電磁閥1032，來控制所述新風(fēng)送入設(shè)備1031所提供的潔凈空氣的流量，進(jìn)而控制所述緩沖區(qū)域102內(nèi)的壓力大小。

請參閱圖1至圖3所示，在一實施例中，所述空氣過濾設(shè)備104例如位于所述緩沖區(qū)域102的頂端，且所述空氣過濾設(shè)備104將所述空氣輸送設(shè)備103與所述緩沖區(qū)域102連通。具體的，所述緩沖區(qū)域102的頂端例如豎向延伸至所述潔凈室的頂端，此處，以所述第一潔凈室A和所述第二潔凈室B為例，所述緩沖區(qū)域102位于所述第一潔凈室A和所述第二潔凈室B的連接處，所述緩沖區(qū)域102的頂端即為所述第一潔凈室A和所述第二潔凈室B的連接處的所述潔凈室的頂端。所述空氣過濾設(shè)備104位于所述緩沖區(qū)域102的頂端，即位于所述潔凈室的頂端，所述空氣過濾設(shè)備104連通所述空氣輸送設(shè)備103與所述緩沖區(qū)域102連通，所述空氣過濾設(shè)備104將所述空氣輸送設(shè)備103輸送的空氣，經(jīng)過濾后，送入所述緩沖區(qū)域102中，值得注意的是，送入所述緩沖區(qū)域102中的空氣，是潔凈的，不含有雜質(zhì)的，不會對所述緩沖區(qū)域102產(chǎn)生污染。所述空氣過濾設(shè)備104例如為空氣過濾器。

請參閱圖1至圖3所示，在一實施例中，所述壓力控制設(shè)備105例如位于所述緩沖區(qū)域102內(nèi)，所述壓力控制設(shè)備105例如與所述空氣輸送設(shè)備103連接。所述壓力控制設(shè)備105例如為壓力傳感器，所述壓力傳感器與所述空氣過濾設(shè)備104連接，具體的，所述壓力傳感器例如位于所述空氣過濾設(shè)備104的底端，當(dāng)所述空氣過濾設(shè)備104為空氣過濾器時，所述壓力傳感器例如位于所述空氣過濾器的底端，用于實施監(jiān)控所述緩沖區(qū)域102內(nèi)的壓力。所述壓力控制設(shè)備105控制所述緩沖區(qū)域102內(nèi)的壓力高于所述緩沖區(qū)域102兩側(cè)的所述潔凈室的壓力，這時，當(dāng)所述裝載設(shè)備例如天車經(jīng)過所述緩沖區(qū)域102時，豎直向下流動的空氣氣流遇到障礙物時，氣流會向相對低壓的潔凈室流動，這樣所述裝載設(shè)備例如天車，運行時所形成的橫向氣流就把高濃度的氣態(tài)分子污染物(Airborne molecular contamination，AMC)帶離。在一實施例中，所述緩沖區(qū)域102內(nèi)的壓力高出所述緩沖區(qū)域102兩側(cè)所述潔凈室的最大壓力至少5-10帕，例如為5帕，6帕，7帕，8帕，9帕，10帕。

請參閱圖1至圖3所示，在一實施例中，所述壓力控制設(shè)備105例如與所述空氣輸送設(shè)備103上的所述電磁閥1032連接，通過控制所述電磁閥1032，來進(jìn)一步控制所述緩沖區(qū)域102內(nèi)的壓力大小，同時，所述壓力控制設(shè)備105還能實時監(jiān)控所述緩沖區(qū)域102內(nèi)的壓力大小，實現(xiàn)精準(zhǔn)控制。例如，當(dāng)所述緩沖區(qū)域102內(nèi)的壓力低于設(shè)定值時，所述電磁閥1032通過所述壓力控制設(shè)備105傳遞的信號調(diào)節(jié)所述電磁閥1032閥門的大小，可以有效控制新的空氣補(bǔ)入量，此處所述的設(shè)定值即為預(yù)先設(shè)定的所述緩沖區(qū)102內(nèi)的空氣壓力大小，例如為上述所述的所述緩沖區(qū)域102內(nèi)的壓力，高出所述緩沖區(qū)域102兩側(cè)所述潔凈室的最大壓力至少5-10帕，例如為5帕，6帕，7帕，8帕，9帕，10帕。

請參閱圖1至圖3所示，在一實施例中，所述第一潔凈室A例如為濕法蝕刻區(qū)，所述第二潔凈室B例如為銅制程區(qū)，所述軌道設(shè)備101貫穿其中，以包含所述軌道設(shè)備101在內(nèi)的所述緩沖區(qū)域102，位于所述內(nèi)濕法蝕刻區(qū)和銅制程區(qū)的連接處，所述緩沖區(qū)域102的頂端豎向延伸至所述所述內(nèi)濕法蝕刻區(qū)和銅制程區(qū)的連接處的潔凈室的頂端，所述緩沖區(qū)域102的兩側(cè)分別為兩個自動雙開門106，所述自動雙開門106包括第一開門1061和第二開門1062，所述第一開門1061具有第一凹口1071，所述第二開門1062具有第二凹口1072，所述第一凹口1071與所述第二凹口1072圍成一長方體形狀的所述卡口107，所述卡口107能與所述軌道設(shè)備101卡合，使得在沒有所述裝載設(shè)備經(jīng)過時，所述緩沖區(qū)域102能保持完整密閉狀態(tài)。所述空氣過濾設(shè)備104例如為空氣過濾器，所述空氣過濾器位于所述緩沖區(qū)域102的頂端，所述空氣過濾器的底端例如設(shè)置有所述壓力傳感器。所述空氣輸送設(shè)備103例如設(shè)置在所述潔凈室的外部，具體的，在與所述空氣過濾器在同一豎直方向上，所述空氣輸送設(shè)備103中的所述封閉罩1033即罩在所述空氣過濾器上，所述新風(fēng)輸入設(shè)備1031的位置可根據(jù)實際需要，來進(jìn)行放置，只需所述新風(fēng)輸入設(shè)備1031與所述封閉罩1033連通即可。所述新風(fēng)送入設(shè)備1031的管口上設(shè)置有所述電磁閥1032，所述壓力傳感器通過傳送信號，控制所述電磁閥1032的閥門開關(guān)大小，來進(jìn)一步控制所述新風(fēng)送入設(shè)備1031送入所述封閉罩1033內(nèi)的空氣流量大小。本實施例通過各部件之間的共同作用，使得所述緩沖區(qū)域102內(nèi)的壓力高出所述緩沖區(qū)域102兩側(cè)所述潔凈室的最大壓力至少5-10帕，具體的，例如為5帕，6帕，7帕，8帕，9帕或者10帕。

綜上所述，在本發(fā)明中，提供一種潔凈室過濾裝置，通過控制所述緩沖區(qū)域內(nèi)的壓力，使得所述緩沖區(qū)域內(nèi)的壓力高于所述緩沖區(qū)域兩側(cè)的所述潔凈室的壓力，當(dāng)一側(cè)所述自動雙開門開啟時，潔凈的空氣向與所述裝載設(shè)備運行方向相反的潔凈室吹掃，從而，可以有效避免因所述裝載設(shè)備例如天車運行，造成相鄰兩個潔凈室相互污染的情況。本發(fā)明使用封閉罩，可以有效集中空氣，輸送較少的空氣量即可維持一定壓力，從而節(jié)約能源。本發(fā)明使用具有卡口的自動雙開門的設(shè)置，使得在未有所述裝載設(shè)備通過時，所述緩沖區(qū)域處于密閉狀態(tài)。所述壓力控制設(shè)備通過控制所述空氣輸送設(shè)備，來進(jìn)一步控制所述緩沖區(qū)域內(nèi)的壓力大小，同時，所述壓力控制設(shè)備還能實時監(jiān)控所述緩沖區(qū)域內(nèi)的壓力大小，實現(xiàn)精準(zhǔn)控制，達(dá)到節(jié)能的目的。本發(fā)明的所述空氣過濾單元不占用所述潔凈室的空間，不影響所述裝載設(shè)備例如天車的運行，且成本較低。本發(fā)明還具有原理易懂，成本低，構(gòu)思巧妙和結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點。

以上描述僅為本申請的較佳實施例以及對所運用技術(shù)原理的說明，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，本申請中所涉及的發(fā)明范圍，并不限于上述技術(shù)特征的特定組合而成的技術(shù)方案，同時也應(yīng)涵蓋在不脫離所述發(fā)明構(gòu)思的情況下，由上述技術(shù)特征或其等同特征進(jìn)行任意組合而形成的其它技術(shù)方案，例如上述特征與本申請中公開的(但不限于)具有類似功能的技術(shù)特征進(jìn)行互相替換而形成的技術(shù)方案。

除說明書所述的技術(shù)特征外，其余技術(shù)特征為本領(lǐng)域技術(shù)人員的已知技術(shù)，為突出本發(fā)明的創(chuàng)新特點，其余技術(shù)特征在此不再贅述。